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BDC-16BA双面化学抛光机
产品名称 BDC-16BA双面化学抛光机
产品编号
产品型号 BDC-16BA
市场价格 面议
更新时间 2014-11-12
出品单位 常州贝斯塔德机械股份有限公司
浏览次数 666
产品详细介绍    下载

 

描述Specification

月产量

2 (20,000 wafer), 

4(10,000 wafer)

厚度偏差

2” ≤ 3,  4” ≤ 5

设备尺寸

2,138(W)×1,738(L)×2,878(H)mm

重量

6,000kg

特征描述

4电机独立驱动

太阳齿手动升降/内齿圈电动升降

20EA 工艺储存

 

设备

内 容

技术指标

16B双面CMP

16B CMP

Cut rate

3um/h

TTV

2inch3um, 4inch5um

BOW

10 um

WARP

15 um

LTV

2.5 um

Ra

0.3nm

LTIR

2 um