| 产品名称： | BDL-16BA双面研磨机 |  |
| 产品编号： | ||
| 产品型号： | BDL-16BA | |
| 市场价格： | 面议 | |
| 更新时间： | 2014-11-12 | |
| 出品单位： | 常州贝斯塔德机械股份有限公司 | |
| 浏览次数： | 1035 |
产品详细介绍 下载
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描述 |
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月产量 |
2” (40,000 wafer) |
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4” (12,000 wafer) |
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厚度偏差 |
2” ≤ 3um； 4” ≤ 5um |
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设备尺寸 |
2,138(W)×1,738(L)×2,878(H)mm |
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重量 |
6,000kg |
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特征描述 |
4电机独立驱动 |
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太阳齿手动升降/内齿圈电动升降 |
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20EA 工艺储存 |
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设备 |
内 容 |
技术指标 |
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16B双面研磨机 16B LAPPING |
Cut rate（F240） |
≥1.5um/min |
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TTV |
2inch≤3um, 4inch≤5um | |
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BOW |
≤10 um | |
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WARP |
≤15 um | |
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Ra（F240） |
≤0.8~1.0μm |
